頭條揭密》華爲佈局光刻機技術 解決晶片卡脖子還有多遠？

中國要自己造出最尖端的EUV光刻機，等於是中國單挑全球十幾個技術先進的國家。這樣沉重的任務都寄託在華爲身上有助於鼓舞士氣，但離現實還是有很大的距離。（圖／路透）

華爲佈局光刻機與高端半導體產業的傳聞已久，去年9月傳出華爲大量招聘光刻機人才的訊息，在業界引起很大的震動。圖爲光刻機作業示意圖。（圖／網路）

日前華爲旗下哈勃投資公司揭露了投資科益虹源光電技術公司的訊息，讓外界認定華爲已着手佈局生產光刻機領域相關技術，科技產業界也議論紛紛。不過，半導體產業技術十分複雜，華爲涉入此一領域多半也只是配合政府政策支持一下技術自主的決心，雖然此舉在大陸極爲振奮人心，但要在數年之內趕上集全球數十國各種領域尖端技術的高科技設備，顯然有極高難度。

科益虹源是中科院微電子所旗下的公司，製造高能雷射儀器，而高能雷射技術是光刻機主要技術之一。科益虹源也是大陸國產光刻機廠商上海微電子的光源系統供應商，因此媒體盛傳這是華爲着手佈局光刻機的重要步驟。

華爲投資製造高能雷射儀器的科益虹源，該公司是大陸國產光刻機廠商上海微電子的光源系統供應商，因此媒體盛傳這是華爲着手佈局光刻機的重要步驟。（圖／網路）

有關華爲佈局光刻機與高端半導體產業的傳聞，從去年被美國進行第2輪制裁卡住華爲晶片貨源後就流傳開來，大約9月各種華爲大量招聘光刻機人才的資訊在業界引起震動。華爲招聘人才又投資相關產業，涉入晶片產業的動作愈來愈多，但這是配合政策進行表態？還是真的要大規模投入戰場？恐怕還有不少疑問。

華爲涉入光刻機領域主要是配合政府政策展示技術自主的決心，雖然此舉在大陸極爲振奮人心，但顯然有極高難度。圖爲華爲總裁任正非（圖／路透）

衆所周知，打造光刻機並非易事，其中涉及的關鍵技術與系統整合極多，每一樣都是現今全球的頂尖技術與專利，不是幾家廠商或幾十家廠商就能搞定。如果打個比喻，光刻機的元件涉及數十個不同類別、來自全球十幾個國家的頂尖供應商，如果要建立一支數十家供應商的隊伍來追趕對手，經過數年努力可能會有部份廠商的技術能趕上外國供應商，但要全部廠商都趕上，可能性微乎其微。畢竟這些供應商都是在全球相關產業界打滾數十年，每一家都是激烈競爭中脫穎而出的強勁對手，要在短時間內全數趕超，只能說是不可能的任務。

ASML光刻機目前擁有全球85%的市佔，最高階光刻機佔有率100%，是全球相關產業供應的尖端技術結晶。（圖／ASML)

大陸國產光刻機龍頭上海微電子(SMEE)從開發光刻機至今也有20年曆史，但是目前量產的90nm光刻機也僅僅是荷蘭ASML公司十幾年前的水準。即便如此，這並非最先進設備的供應商也絕大多數都來自國外，該公司總經理賀榮明曾表示，「SMEE最好的光刻機（90nm解析度），包含13個分系統、3萬個機械零件、200多個感測器，每一個都要穩定。就像歐洲冠軍盃決賽，任何一個人稍爲失常就要輸球。」而ASML的EUV光刻機則擁有超過10萬個零件，更爲複雜，零件幾乎都是訂製，幾乎都是採用世界上最先進技術與製作工藝。

大陸國產光刻機龍頭上海微電子從開發光刻機至今也有20年曆史，但是目前量產的90nm光刻機也僅僅是荷蘭ASML公司十幾年前的水準。（圖／上海微電子）

而以目前大陸被卡脖子的EUV光刻機來說，其發展從1997年就已開始，當時有來自全球各國的數百位頂尖學家，整合了幾個國家政府與一流企業的資源組成EUV LLC聯盟，投入至少2億美元，用6年時間做出數百篇研究論文，才完成科學理論與技術驗證，確認EUV光刻技術的可行性。而這還只是理論與技術論證，進到實務還有全球數萬供應商的各自的生產能力與技術要求。華爲當然是個技術能力很強的企業，但是若想在10~20年內，以一國之力做到集全球頂尖人才之力且花20年到30年才做出來的EUV光刻機，希望確實十分渺茫。

產業界人士進一步分析華爲說，這家優秀的企業有足夠的雄心與衝勁，也能有效地運用技術與經營人才，但也非萬能。以其著名手機上使用的麒麟晶片與照片技術來看，確實是頂尖的產品，但麒麟晶片的開發是建立在ARM公版架構上，照相技術是建立在Sony開發的感測器上，亦即華爲很多技術的發展都是站在即有技術成果上進行。但是，最先進的EUV光刻機與先前的DUV光刻機差了一整代，連理論都不一樣，無法依照先前的技術路徑來實現。華爲過去也沒有相關技術基礎，都要自己組建技術隊伍重頭來過，可以想見難度有多高。

ASML一位工程師說，如果歐洲一夜之間蒸發了，美國想要重新造出性能相似的光刻機來，至少還需要5年。這種EUV光刻機不只是中國造不出來，其中很多元件目前就連美國也還造不出來。（圖／路透）

有一篇網路有關光刻機的文章廣爲流傳，撰文者自稱是在ASML工作的華裔工程師，這篇文章爲半導體的晶圓代工業做了個比喻說，如果臺積電是擁有10艘10萬噸級核動力航母的美國海軍，中國大陸的晶片製造商大概就是還沒把瓦格良號拖進港的中國海軍。至於中國何時會造出10萬噸核動力航母，這個當然極有可能，但是什麼時候能造出來，就需要各種條件都具備了才行。其中需要產業政策、資金、人才、技術發展時機與適合的國際政經環境，「而有這個錢還要花這麼大力氣在中國重新建立起一家與臺積電一樣的公司，還不如用這個錢直接買下臺積電比較容易些。」

一名ASML光刻機工程師說，如果要花這麼多錢與這麼大力氣在中國重新建立起一家與臺積電一樣的公司，還不如用錢直接買下臺積電比較容易些。（圖／路透）

該文章還說，如果歐洲一夜之間蒸發了，美國想要重新造出性能相似的光刻機來，至少還需要5年。這種光刻機不只是中國造不出來，其中很多元件目前就連美國也還造不出來。所以中國要自己造出最尖端的EUV光刻機，這不是中國單挑美國，而是中國單挑全球十幾個技術先進的國家。把這樣沉重的任務都寄託在華爲身上，雖然有助於鼓舞士氣，但離現實還是有很大的距離。