老美不給賣EUV機臺...營收恐不妙 ASML這點卡關無法出貨陸廠

半導體設備大廠ASML。(圖/達志影像)

美中科技戰持續，如今連南韓記憶體大廠SK海力士打算升級在無錫工廠的生產效率，本於今年7月就宣佈採用極紫外光(EUV)微影設備、生產第4代10奈米等級的1a 奈米制程，但傳出遭到美國政府反對荷商艾司摩爾(ASML)出貨EUV機臺。ASML從不能出貨給陸企，到現在甚至連外企採購但要運往大陸都受到影響，主要跟ASML的產品零組件外包模式有關。

SK 海力士今年 7 月宣佈，將採用EUV機臺，量產 8GB 容量 LPDDR4 行動裝置用 DRAM，並預計在未來運用在所有1a 奈米制程的DRAM 生產，確保品質穩定，並預計在2022年初，採用1a 奈米制程生產DDR5 產品。無錫廠月產能18 萬片，採 1Y 奈米制程，主要生產DDR4產品，並佔SK 海力士DRAM 產能一半，SK海力士則是佔全球市佔率15%，如今可卻遭到美方阻撓，讓無錫廠的升級計劃可能受阻，進而讓DDR5市況也跟着衝擊。

消息一出後，馬上引來大陸官媒《環球時報》引述韓媒《民衆的聲音》分析表示，美國繼插手英特爾的業務後，又開始控制同盟國在大陸生產的事宜，美國如果繼續以這種方式干涉，韓企將蒙受巨大損失。美國貿易代表戴琪則是被問及，美國政府對陸企限制是否會擴大至半導體產業之外的領域，戴琪強調，國家安全雖與軍事和國防有關，但涉及的範圍可能會更廣，被《首爾新聞》分析，這番言論顯示美國對大陸進出口限制的態度，恐怕會擴散至其他產業領域。

大陸晶圓代工龍頭中芯國際2018年跟ASML訂購EUV機臺，但受到川普政府給予荷蘭政府壓力，最終該筆訂單告吹，並於今年3月宣佈雙方已經重新簽訂一筆12億美元的深紫外光(DUV)微影設備訂單，期限到今年底，但至今也沒有下文。

雖然ASML當時指出，EUV機臺要出口至大陸，必須依照《瓦聖納協議》規定，如今也要等待荷蘭政府重新審覈許可。但實際上，ASML的營運強項就是將設備模組化，並專精主要核心零組件，其餘外包給個模組廠商製造，ASML供應商約有 5000 家，ASML受到的衝擊，對於該公司供應鏈都有相關影響。其中，在2012年收購美國微影光源公司Cymer，並依照該公司雷射電漿（laser-produced plasma，LPP）技術來產生波長爲13.5 奈米光源，成功開發出EUV機臺，該機器也成爲摩爾定律持續的關鍵，臺積電、英特爾以及三星電子發展先進製程也對其需求相當強勁。

但也因如此，當時ASML要出貨給中芯國際EUV機臺，其中含有美國半導體技術，讓ASML須事先獲得美國政府的核準遲遲無法過關，ASML全球副總裁、中國區總裁沈波近日指出，除了EUV機臺無法對大陸客戶出貨之外，其他產品都正常供貨。

隨着大陸在今年成爲ASML第三大市場，但在美國禁令拖累下，ASML的EUV機臺無法進入大陸市場，ASML高層表示，預計2021年度在大陸的銷售額達20億歐元，較前一年大減超過1成。

ASML雖然也承認過，美國政府透過出口管制是解決有針對性、國家安全問題的有效工具，但在如今全球晶片短缺的困境下，可能會造成傷害，這也會造成該公司成本增加、影響獲利前景等問題，甚至回過頭來傷害到美企。