臺積電超殺利器！ASML最強機臺天價曝光 大到用三架747運送

臺積電、英特爾、三星展開先進製程大戰，也讓半導體設備商ASML新一代EUV機臺飆出近120億臺幣天價。（示意圖/達志影像/shutterstock）

近年來，臺積電、三星、英特爾在先進製程大戰打得火熱，爲搶下晶圓代工市場，對極紫外光（EUV）設備需求大增。外媒報導，獨家供應半導體微影設備大廠艾司摩爾（ASML）新一代 High-NA EUV 設備飆出新天價，由於機臺比前一代還要大30%，至少需要三架波音 747分批運送，預估一臺要價約 4 億美元（約臺幣119億元）；有專家形容，買下High-NA EUV 設備就像擁有一把好槍，能搶得市場先機。

路透報導，ASML表示，去年第 4 季High-NA EUV設備訂單已有5臺 ，預計於2024年交付。先前業內人士推估，下單一臺動輒上百億臺幣的最新EUV 肯定是大咖客戶，包括臺積電、英特爾和三星。

ASML新一代 High-NA EUV 設備，因爲精密度更高、設計零件更多，比前一代體積大 30% 左右，重量超過 200 公噸的雙層巴士大小，至少需要三架波音 747 分批運送，估每臺價格4 億美元。將用於生產下一代晶片，晶片終端領域可涵蓋手機、筆電、汽車、AI 等。

微影製程技術是決定晶片上電路有多小的關鍵決定因素，High-NA有望減少66%尺寸大小。在晶片製造中越小越好，因爲在同一空間中封裝的晶體管越多，晶片的速度就越快、能效越高。

產業調查機構 TechInsights專家 Dan Hutcheson 認爲，High-NA EUV機臺可爲一些晶片製造商帶來顯著優勢，有點像誰擁有最好的槍，誰就能搶得先機。一旦錯失這設備，將從此失去競爭力。

臺積電今年拉高資本支出至400～440億美元，相關支出多數用於先進製程，除了加速建廠2奈米及更先進製程晶圓廠，也極積投入相關半導體設備預訂採購。