拉普拉斯取得一種石英件保護層及其製備方法專利，極大延長石英件壽命

金融界 2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知識產權信息顯示，拉普拉斯新能源科技股份有限公司取得一項名爲“一種石英件保護層及其製備方法“，授權公告號 CN113684468B，申請日期爲 2021 年 7 月。

專利摘要顯示，本發明公開了一種石英件保護層，所述保護層位於石英件表面，所述保護層的熱膨脹係數大小介於石英與鍍膜層熱膨脹係數之間。本發明還公開了一種石英件保護層的製備方法，所述方法爲 LPCVD 方法沉積保護層或/和噴塗燒結的方法沉積保護層；或者所述方法爲採用 LPCVD 方法直接生長 SiO2，再逐漸減少供氧物質的含量比例，提高鍍膜層物質的比例，直至最後全是鍍膜層物質。本發明中，石英件保護層（即過渡層）能夠隔離鍍膜層與石英件的直接接觸；由於過渡層的存在，相互之間的熱應力都能降低，極大的延長了石英件的壽命，降低了維護成本和工作量；減少了設備維護工作和時間，提高了設備使用率。

本文源自：金融界

作者：情報員