俄羅斯仍有5臺ASML光刻機可用！
自俄烏衝突爆發之後，俄羅斯被衆多國家和地區制裁，導致各種半導體芯片及設備的進口都受到了限制。這也迫使俄羅斯加大了對於自研、本土製造芯片的投入，但依然會面臨設備、材料等很多方面的瓶頸。不過，據外媒《The Insider》報導，俄羅斯目前仍然可以通過一些途徑從中國臺灣進口硅晶圓（半導體硅片）等產品，這些是製造芯片所必須的原材料。
基於軍事需求而建立的芯片製造能力
自2022年2月俄烏衝突爆發後，美國、歐盟、日本、新加坡、韓國、中國臺灣等地就相繼出臺了針對俄羅斯的半導體的出口管制，希望通過阻斷半導體供應，以降低俄羅斯的軍事戰力。雖然俄羅斯本土缺乏生產高性能、商業上可行的微芯片的現代技術，但這並不意味着當地製造商不知道如何生產半導體芯體。老式的芯片生產技術早在蘇聯時代就已經開發出來了。
例如，據光刻專業人士Denis Shamiryan介紹，俄羅斯公司Mikron已經掌握了大規模生產中的180nm技術和單件生產中的90nm技術。對於90nm工藝，Mikron使用意法半導體光刻設備。Mikron的民用產品僅限於銀行卡和護照芯片，其年產量達到40億個微芯片。
正如Shamiryan回憶的那樣，俄羅斯還計劃在莫斯科地區澤列諾格勒的Angstrem-T生產芯片，使用130nm和90nm技術。2000年代末，Angstrem-T從AMD位於德累斯頓的Fab36工廠購買了完整的ASML生產線。然而，這些計劃從未實現，因爲Angstrem-T在2019年被宣佈破產。然而，另一家名爲Angstrem（去掉T）的位於澤倫格勒的實體生產了一系列微芯片。
△俄羅斯伊斯坎德爾導彈的Angstrem微芯片與西方芯片在同一塊主板上
Shamiryan還指出，俄羅斯Rusnano集團旗下Crocus NanoElectronics工廠曾成功建立65nm製程，主要是爲了生產MRAM內存，但它自己只能完成生產週期的一半，仍須依賴外國供應，但後來因爲制裁該工廠被迫停業
俄羅斯現存的微芯片生產設施主要服務於軍事需求。例如俄羅斯芯片製造商Epiel主要在莫斯科附近的澤列諾格勒開展業務，並將自己定位爲俄羅斯芯片製造外延生長（epi）過程中的領導者。
根據Epiel最新的公開財務報表，該公司2020年的收入接近700萬美元。Epiel主要供應適直徑爲100mm、150mm和200mm的晶圓，雖然目前最先進的現代技術採用的是300nm晶圓。在該年度，Epiel從俄羅斯工業和貿易部獲得了數十萬美元的政府合同，並向合資公司NZPP Vostok（“新西伯利亞半導體器件廠”）供應加工過的晶圓，該公司爲終端製造商生產現成的芯片。
根據最新的公共採購數據，NZPP Vostok積極與Rosatom實體K.a.Volodin儀器製造廠（聯邦國家統一企業）合作，後者專門生產核武器。而NZPP Vostok的工廠仍在生產64 K bit的存儲芯片，至少直到最近，該工廠還向Rybinsk的Luck Design Bureau等軍事企業出售價值數百萬盧布的芯片，這些公司主要開發包括無人機在內的軍事裝備。
Epiel的另一個客戶是沃羅涅日的電子設備研究所，該研究所爲被佔領的克里米亞的Fiolent軍事工廠、Sozvezdie Concern（爲武裝部隊製造電子戰和通信與控制設備）以及Rosatom的Volodin儀器製造廠提供產品。
現有記錄還表明，Epiel與前電子廠Pulsar之間存在合作，Pulsar爲軍方製造微波設備、晶體管和微芯片。Epiel還履行了 N.L. Dukhov All-Russian Research Institute of Automation（N.L. 杜霍夫全俄自動化研究所）的合同，該研究所開發核彈頭。Epiel的地址與據說屬於Mikron集團的Sitronics Smart Technologies的地址相匹配。此外，Epiel與Mikron和俄羅斯分子電子學研究所共享辦公場所。因此，可以合理地假設Epiel屬於同一集團公司。
俄羅斯製造的微芯片在武器中的具體應用包括1890VM6Ya處理器及其在戰鬥機Baguette飛行控制計算機中的變體。
△Milandr製造的俄羅斯1645RU3U存儲芯片用於S-300和Pantsir SAM系統
早在2011年，熱門IT門戶網站Habr上的一篇文章就報道稱，Milandr在180nm技術設備上製造的芯片用於俄羅斯戰鬥機和防空系統。
俄羅斯國內芯片製造的過程似乎如下：首先，Epiel在進口晶圓上進行外延生長。然後，Mikron、NZPP Vostok、Pulsar或電子設備研究所等公司使用這些半導體產品製造即用型微芯片。據行業專家稱，該過程可能包括將晶圓切割成單個芯體，連接引腳並“封裝”它們。
雖然相對於現代芯片來說，這些芯片大多已經過時，但俄羅斯武器製造商選擇國產芯片而不是技術更先進的芯片，一方面是出於安全考慮，另一方面則是由於製程導致的供應問題。另外，由於這些芯片主要用於大型重型武器，因此最先進的電子設備提供的小型化優勢基本上無關緊要。
俄羅斯目前有5臺老式的ASML光刻機
對於俄羅斯來說，自主製造芯片離不開關鍵的半導體設備，特別是光刻機。目前全球主要的193nm（“深紫外”）波長的DUV光刻機供應商只有ASML、尼康和佳能，而13.5nm的（“極紫外”，接近X射線範圍）波長的EUV光刻機只有ASML可以製造。
ASML發言人向The Insider證實，ASML公司從未向俄羅斯出售過大量設備。自2014年以來，只有價值5000萬美元的ASML品牌光刻機進口到俄羅斯。雖然5000萬美元價值看起來不少，但這甚至都買不到一臺EUV光刻機。
ASML聲稱，俄羅斯只從第三國進口了拆除的舊設備的零件。烏克蘭出版物《真理報》在很大程度上證實了這一評估。據報道，截至2022年，俄羅斯有五臺波長範圍爲365至193納米的ASML光刻機（均爲PAS 5000系列）正在運行，分別位於俄羅斯系統分析科學研究所、Mapper、Zelenograd納米技術中心和Mikron。
在俄烏戰爭全面爆發後，臺積電已停止了對俄羅斯芯片的代工。爲此，俄羅斯也不得不依靠已有的進口半導體設備在其國內製造自研芯片。雖然目前俄羅斯有五臺ASML設備正在運作中，但這些設備非常過時，甚至已有15-20年曆史。
對此，ASML堅稱，不爲俄羅斯的光刻設備提供維修服務，但是仍有很多相關零件在製造商無法控制的二級市場上流通。
需要指出的是，除了在制裁前進口的少數西方光刻機外，俄羅斯製造商還可以從明斯克的Planar工廠獲得光刻機。這些光刻機在350nm的波長下工作，最小特徵尺寸爲500nm，代表了1995年出現的一種技術，但到1999年已經過時。
半導體原材料供應
俄羅斯自己製造芯片還存在另一個問題，那就是其本土缺乏必須的半導體材料供應商，比如半導體硅片和光罩等，這些必須依賴於進口。雖然之前遇到了一些阻礙，但目前俄羅斯依然可以通過一些途徑採購到這些產品。
根據俄羅斯海關內部數據，俄羅斯在2023年共進口了價值1.505億美元的半導體相關產品（海關代碼848620），用於生產微芯片和印刷電路板。買家名單包括民用實體（如生產智能卡和芯片的Sitronics Smart Technologies和生產太陽能電池板的Hevel）、各種設備（包括受制裁商品）的經銷商，以及爲外圍非核心項目購買少量設備的組織（如IT公司Craftech）。
雖然俄羅斯最大的硅片進口商是OOO Hevel，該公司在2023年從中國進口了價值近700萬美元的硅片，但這些硅片主要是用於太陽能電池板的。而Epiel則是用於芯片製造的半導體硅片的最大的進口商之一，其在2023年進口了價值爲220萬美元半導體硅片。該公司的許多最終用戶都是軍工企業，從2010年代初到全面入侵烏克蘭，其大多數供應商都是亞洲和美國的實體。
但在俄烏衝突爆發後，Epiel不得不徹底改變供應商基礎，改從東南亞幾家主要出口商採購半導體硅片。從The Insider整理的名單來看，中國臺灣公司Pai Haung Technology也向其出口了不少半導體硅片，而且其只與少數俄羅斯和白俄羅斯實體有業務往來，可直接從中臺灣運送半導體硅片給他們。
自俄烏戰爭爆發後，Pai Haung以其品牌出售了價值400萬美元的半導體硅片給俄羅斯和白俄羅斯，但該品牌在網上沒有任何知名度。The Insider認爲許多海關文件都將製造商指向另外一家公司，即中國臺灣合晶科技（Wafer Works），因爲這家公司在俄烏衝突爆發前，也是Epiel的供應商。
The Insider認爲，名不見經傳的Pai Haung其實不生產半導體硅片，那他在供應鏈的角色僅限於轉售中間商的角色。
由美國前財政部官員創立的數據公司Kharon發現，Pai Haung曾被列爲美國DMS電子元件集團網站上的附屬實體，但現在看這個信息已經從網站消失。
Pai Haung執行長Bao Yongjian在接受中國臺灣媒體採訪時表示，公司會嚴格遵守中國臺灣法律，不與受制裁的公司做生意。
目前總部位於俄羅斯澤倫格勒的Epiel確實沒有被列入美國及中國臺灣或其他制裁名單，儘管它是俄羅斯軍事工業最終使用的產品製造過程中不可或缺的一環。
然而，Pai Haung的另一個客戶AO VZPP Mikron（沃羅涅日半導體設備股份公司Mikron）正受到制裁。2020年，Mikron獲得了一系列政府合同，開發高達1200伏的抗輻射齊納二極管，這些二極管更有可能用於軍事而非民用。
Epiel的第四大供應商是日本D&X株式會社有限公司的中國分公司。應《The Insider》的要求，日本經濟產業省發送了一份違禁品清單，其中顯示日本公司不允許向俄羅斯出口硅片（代碼381800）。
Epiel的另一家供應商D&X公司尚未對《The Insider》的調查做出迴應。而管理部門則表示，它不知道D&X公司向俄羅斯發貨。
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編輯：芯智訊-浪客劍