《半導體》臺積電物聯網智慧節能系統 年節能效益8500萬元

臺積電(2330)攜手應用材料公司與附屬設備供應商針對非生產區(Sub-fab)的附屬設備打造「iSystem物聯網智慧節能控制系統」，並已導入晶圓十五B廠80種製程、588臺生產機臺所屬的2,351臺真空幫浦、805臺現址式尾氣處理系統，達成年度省電1,340萬度、減少13,800公噸碳排放量，成功創造新臺幣8,500萬元的節能效益。

臺積公司致力實踐綠色製造，持續以創新技術追求能源與資源最佳使用效率，繼引領業界開發世界級半導體綠色機臺，更在不影響生產機臺效能的前提下，打造「iSystem物聯網智慧節能控制系統」。

半導體晶圓製造過程中會使用不同的製程氣體，一般位於非生產區的附屬設備皆以固定全載方式運轉，爲提高能源使用效率，民國105年，臺積公司攜手供應商開發及導入「iSystem物聯網智慧節能控制系統」，將其做爲生產機臺與附屬設備之間的對接橋樑，使其可依生產機臺使用的製程氣體，同步自動調變運轉參數與能耗以達成節能效果。除了節能模式，進一步開發附屬設備的睡眠模式(Sleep Mode)與休息模式(Rest Mode)，當生產機臺於較長時間未運轉時，可節省更多能耗。

爲更系統化落實節能行動並確保成效，民國109年，臺積公司將「ISO 50001(Energy Management System, EnMS)能源管理系統」導入iSystem，且開發建置iSystem異常管理系統與節能報表系統，以利更精準掌握能源使用量，並進一步計劃將能耗資料儲存於雲端。

爲擴大節能效益與使用範圍，臺積公司尋求與其他半導體設備供應商合作，所有制程及生產機臺的附屬設備皆計劃導入智慧節能機制，目前除了晶圓十五B廠持續進行應用開發與建置外，晶圓十八廠於民國110年開始導入，並將逐步推展至臺灣廠區所有十二吋晶圓廠，預計未來每年可省電8,200萬度、減少84,600公噸碳排放量，創造新臺幣5億2,000萬元的節能效益。