ASML限縮出貨 陸企早有準備 囤積DUV機臺

ASML發出聲明指出，荷蘭政府近期撤銷部分2023年NXT:2050i及NXT:2100i微影系統之出口許可證，對少數位於中國的客戶產生影響。圖爲ASML的組裝工程師日前正在進行設備組裝作業。（路透）

全球半導體顯影設備龍頭艾司摩爾（ASML）應拜登政府要求，提前取消部分用於半導體成熟製程的深紫外光（DUV）設備出貨大陸，市場原本期盼，陸企無法取得關鍵機臺後，能舒緩成熟製程供過於求壓力，惟業界分析，陸企早已大舉囤積DUV機臺，美國新政恐難扭轉成熟製程產能過剩問題。

這意味聯電、世界先進、力積電等以成熟製程爲主力的臺灣晶圓代工業者，邁入2024年仍難甩開與陸企競爭壓力，隨着供過於求問題延續，後續報價恐同步承壓。

大陸科技媒體《芯智訊》報導， 根據大陸海關數據顯示，2023年10月，大陸從荷蘭進口的艾司摩爾設備數量達21臺，總價值6.725億美元（約新臺幣207億元）。2023年11月，大陸進口42臺半導體顯影設備，總價值爲8.168億美元（約新臺幣252億元），其中有16臺來自荷蘭，總價值7.627億美元（約新臺幣234億元），年增10.5倍。

艾司摩爾在2023年第4季出貨的設備，多數是在2022年底或2023年初就已取得許可。艾司摩爾在2023年中的交貨週期約18個月，代表2023年第4季出貨的設備，客戶應該是在2022年第2季或第3季就已下訂單。

數據並顯示，2023年第3季大陸半導體制造設備進口額爲人民幣634億元（近新臺幣2,800億元），較前年同期暴增93％。就產品類別來看，顯影設備進口額暴漲近四倍。其中，來自荷蘭的進口額暴增逾六倍，顯然是艾司摩爾的產品。

業界分析，大陸顯影設備進口量和進口額激增，可能是艾司摩爾趕在許可證失效前，匆忙出貨的結果。從艾司摩爾2023年第3季財報來看，當季大陸市場銷售額佔比增至46%，遠高於2023年前兩季的數據（分別爲24%和8%）。

研調機構集邦科技（TrendForce）昨天直言，艾司摩爾兩款DUV機臺提前取消銷陸，不影響該機構對全球與大陸晶圓代工市場後市看法。

集邦提到，各國補貼政策驅動下，大陸、美國積極拉高當地晶圓代工產能佔比，預期至2027年臺灣、南韓兩地產能佔比將分別收斂至41%及10%。成熟製程（28奈米及更成熟的製程）方面，該機構先前分析提到，以大陸擴張產能最積極，在美國、日本及荷蘭三方對先進設備的出口管制影響下，大陸轉而擴大投入成熟製程。

【記者尹慧中／臺北報導】美方拉攏盟友強化出口管制措施，避免相關技術用於軍工領域。惟業界觀察，美方態度愈強硬，將使得大陸自主研發突圍的企圖心更強，深紫外光（DUV）顯影設備技術相對門檻較低，預期陸企在DUV領域已有突破或替代方案。

加上不少陸資廠商還積極囤貨成熟製程設備，大陸雖在先進製程佈局受阻，但官方祭出高額補助，成熟製程市佔料仍將穩步提升。