寧波潤華全芯申請晶圓加工設備及其控制方法專利，提高設備產能

金融界2024年12月21日消息，國家知識產權局信息顯示，寧波潤華全芯微電子設備有限公司申請一項名爲“一種晶圓加工設備及其控制方法”的專利，公開號CN 119153375 A，申請日期爲2024年11月。

專利摘要顯示，本發明提供了一種晶圓加工設備及其控制方法，晶圓加工設備用於加工晶圓，晶圓加工設備包括：第一機器人和第二機器人，第一機器人與第二機器人相對設置，並且，第一機器人與第二機器人之間存有容納空間；熱盤或冷盤模塊，並且熱盤或冷盤模塊設於容納空間內；對中模塊，對中模塊設於容納空間內；片盒，片盒用於存放晶圓，片盒靠近第一機器人設置；勻膠顯影模塊，勻膠顯影模塊靠近第二機器人設置，各個模塊集中設置，兩個機器人分攤工藝步驟，提高設備產能，不僅減少第一機器人和第二機器人的移動路徑的長度，提高第一機器人和第二機器人的抓取效率，還減少了晶圓加工設備的佔地面積，便於規劃生產車間的設備佈局，使設備佈局更加合理。

本文源自：金融界

作者：情報員