消息稱SK海力士將在1c DRAM生產中採用新型Inpria MOR光刻膠
《科創板日報》30日訊，SK海力士計劃在第6代（1c工藝 約10nm）DRAM的生產中使用Inpria下一代金屬氧化物光刻膠（MOR），這是MOR首次應用於DRAM量產工藝。消息人士稱，SK海力士量產的1c DRAM上有五個極紫外 (EUV) 層，其中一層將使用MOR繪製。他還補充說，不僅SK海力士，三星電子也將追求這類無機PR材料。 (TheElec)
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