西安奕斯偉申請化學氣相沉積設備專利,沉積過程中可獲取距離並進行溫度補償
金融界2024年12月7日消息,國家知識產權局信息顯示,西安奕斯偉材料科技股份有限公司申請一項名爲“化學氣相沉積設備”的專利,公開號CN 119082867 A,申請日期爲2024年8月。
專利摘要顯示,本公開實施例公開了化學氣相沉積設備,所述化學氣相沉積設備包括:承載件,用於承載基板;設置在所述承載件上方的測距裝置,用於在化學氣相沉積過程中實時獲取其與所述基板上已形成的沉積層的表面上不同區域中的每個區域之間的距離;設置在所述承載件下方的溫度補償裝置,用於對待溫度補償的區域進行溫度補償。
本文源自:金融界
作者:情報員
相關資訊
- ▣ 福建立亞新材取得連續化學氣相沉積生產線專利,能夠用於連續進行陶瓷基複合材料中塗層的化學氣相沉積
- ▣ 漢拿科銳動申請雷達角度補償相關專利,對目標角度進行補償
- ▣ 明陽薄膜申請均勻沉積蒸鍍裝置專利,能夠形成較大面積且均勻的沉積蒸鍍膜層
- ▣ 上海積塔半導體申請原子層沉積控制專利,提升薄膜均勻性
- ▣ 恩維世科斯申請圖片失真專利,補償全息投影儀當前溫度變化
- ▣ 拉普拉斯取得氣體供給系統以及薄膜沉積設備專利,爲太陽能電池製造提供技術支持
- ▣ 華爲申請遠程證明方法及相關設備專利,提升遠程證明報告驗證過程的可信度
- ▣ 西安奕斯偉取得一項單晶爐及單晶硅製備方法專利
- ▣ 上海積塔半導體申請旋轉噴淋頭等專利,提升沉積均勻性和薄膜質量
- ▣ 江蘇道金智能製造申請鋰電池硅氧負極材料的製備系統專利,提高沉積複合物在沉積受體表面覆蓋的均勻性
- ▣ 應用材料公司取得用於原子層沉積(ALD)溫度均勻性的熱解氮化硼(PBN)加熱器專利
- ▣ 武漢楚興申請一種半導體結構製備方法及製備系統專利,降低沉積金屬氮化層時的雜質含量
- ▣ 中建二局安裝申請軟弱地基防止沉井施工至設計標高後再次沉降專利,有效控制沉井施工井筒沉降至設計標高後再次下沉
- ▣ 盛美上海:等離子體增強原子層沉積爐管設備通過初步驗證
- ▣ 海信家電取得鍵合設備專利,可保證鍵合設備在拆裝過程中的安全性
- ▣ 奕斯偉計算取得圖像處理相關專利
- ▣ A股申購|先鋒精科(688605.SH)開啓申購 在刻蝕和薄膜沉積設備上實現了國產化自主可控
- 停灌補償申請剩不到1周 申請面積已逾8成
- ▣ 上海深至申請智能磁場均勻化補償方法專利,使設備保持磁場穩定性
- 臺南率先補助 230家旅行社可申請遠距辦公設備1萬元
- 中國化學多個項目建設取得積極進展
- ▣ 習水鼎泰申請電機轉子抽穿裝置及其抽穿方法專利,可避免長距離轉移電機及轉移過程中設備損壞的風險
- ▣ 西安奕斯偉申請氧含量可控的單晶硅和硅晶圓等專利,有效控制氧元素在單晶硅中的分佈
- ▣ 大立光電申請光學攝像鏡頭專利,能同時滿足小體積、可調焦距等需求
- ▣ 廣東美芝取得熱管理設備相關專利,縮減整體設備所需冷媒體積
- 臺積電穩坐專利申請龍頭 鴻海專利申請腰斬
- ▣ 廣東世炬網絡科技申請星地鏈路時頻偏補償專利,對上下行信號進行補償
- ▣ 中國電建集團華中電力設計研究院取得新型空氣進氣系統專利,降低進氣系統設備投資及佔地面積
- ▣ 高通公司申請溫度補償低通濾波器專利,用低通濾波輸出電壓對電容器進行充電