蔚華科×南方科技 推非破壞性缺陷檢測

蔚華科28日舉行JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統發表會，左起爲蔚華科技總經理楊燿州、蔚華科技董事長秦家騏、光電協進會董事長邰中和、技嘉科技董事長葉培城、南方科技董事長陳怡然、南方科技總經理王嘉業圖／張瑞益

蔚華科JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統概況

蔚華科技（3055）攜手旗下南方科技推出業界首創JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產量並有助改善製程。蔚華科表示，JadeSiC-NK可爲具有100個長晶爐的基板廠省下每年2.5億元成本，且該系統2023年底前可望訂單到手，2024年展開出貨，將是未來強勁的營運成長動能。

電動車推動全球SiC晶片需求迅速爆發，尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件，供給量遠遠不及需求。化合物半導體的基板材料品質決定下游晶片的可靠度及性能優劣，但SiC長晶速度較慢，且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測，使得SiC晶片製程成本居高不下，目前全球主要基板廠皆積極投資產能擴充並改善製程，加速產業佈局以搶攻市佔率。

南方科技總經理王嘉業表示，目前市場上的光學技術只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統採先進非線性光學技術，可對全片基板表面到特定深度進行掃描，反應晶體結構資訊，提供晶體缺陷密度及其分佈狀況，更能有效掌握基板品質。

王嘉業進一步說明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專注在穩定且有效地找出基板中的致命性晶體缺陷，相較現行將SiC晶錠切片後取上下二片基板進行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時間與基板成本。

蔚華科總經理楊燿州表示，公司從半導體封測設備跨足光學檢測，首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測，除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化，持續加大研發能量有效整合集團資源，發揮綜效。