江蘇光啓靈犀裝備申請光伏鏈式光刻生產系統專利，可實現無損圖形化

金融界2024年12月26日消息，國家知識產權局信息顯示，江蘇光啓靈犀裝備有限公司申請一項名爲“一種光伏鏈式光刻生產系統”的專利，公開號 CN 119179237 A，申請日期爲2024年11月。

專利摘要顯示，本發明屬於光刻技術領域，具體的說是一種光伏鏈式光刻生產系統，一鏈式輥塗模塊，用於硅片光刻膠的塗覆；一激光打定位點模塊，用於所述硅片定位點的形成；一曝光模塊，用於所述硅片定位點的抓取；一顯影模塊，用於所述硅片的鹼洗；一水洗系統，用於所述硅片表面的清洗；一去膠模塊，用於所述硅片表面的去膠；一烘乾模塊，用於所述硅片表面的烘乾；一計算機控制器，用於控制上述模塊的運行，本發明相比於激光開膜，採用高功率激光的照射，將薄膜表面加熱到高溫，對鈍化膜本身產生熱損傷，而本發明利用光刻技術通過光刻膠顯影和曝光實現掩膜，可實現無損圖形化，對p+‑poly‑Si和n+‑poly‑Si鈍化性能沒有損傷。

本文源自：金融界

作者：情報員