見微科技 濺鍍技術聚光

見微科技依據濺鍍產業上下需求，持續發展各種最尖端新穎的電漿技術。圖／見微科技提供

見微科技致力於提供濺鍍產業問題解決方案，其願景爲成爲最先進濺鍍產業的服務業者，連結靶材製造商及靶材使用商成爲濺鍍產業中最具競爭力團隊。發展至今，該公司依據濺鍍產業上下需求，持續發展各種最尖端新穎的電漿技術。

薄膜製造是一項技術密集產業，廣泛應用在所有科技產品當中，其中濺鍍技術是一不可或缺的關鍵技術，濺鍍技術主要應用於薄膜製造，可見於在日常生活中的各種產品，從半導體領域與能源產業到平面顯示器、磁光儲存媒體、機械器具加工與裝飾性鍍膜等，該公司總經理蔡孟宏表示臺灣在濺鍍（Sputter）薄膜領域已發展多年，已是一個相當成熟的產業，然而濺鍍設備中關鍵的濺鍍源（Sputtering Cathode）部件卻只依靠國外少數廠商提供。

隨着薄膜材料越趨複雜的合金化，濺鍍源與濺鍍靶材的搭配適切性越趨重要，需透過非常精密的材料與濺鍍源磁場設計搭配，才能取得優異特性的薄膜，在這方面見微科技已與全球靶材商及臺灣光洋科在靶材與薄膜均勻性關係研究，進行多面向合作，成爲市場上極具潛力之產品。過去所有發展技術皆是圍繞濺鍍技術發展，濺鍍源又是可稱爲濺鍍設備的心臟部件，故見微科技將此技術列爲未來幾年的技術發展重點，目前已經成功開發了SC與SCR系列濺鍍源提供科研單位設備使用。

見微科技也盼在近年政府大力推動關鍵技術本土化政策下，國內自行設計開發的濺鍍源可以對產官學界的發展能有相當大的幫助。