海目星獲得實用新型專利授權:“搬運裝置以及硅片加工設備”
證券之星消息,根據天眼查APP數據顯示海目星(688559)新獲得一項實用新型專利授權,專利名爲“搬運裝置以及硅片加工設備”,專利申請號爲CN202323196084.4,授權日爲2024年8月27日。
專利摘要:本實用新型公開了一種搬運裝置以及硅片加工設備,其中硅片加工設備包括:底座、驅動件、擺臂、吸附件以及緊固件。驅動件連接於底座,擺臂連接驅動件,驅動件用於驅動擺臂旋轉設定角度,吸附件用於與外部氣源連接,以取放硅片,吸附件爲與硅片形狀相適配的矩形結構,吸附件可轉動連接於擺臂緊固件用於可選擇地對吸附件與擺臂之間的相對位置進行鎖定和解除鎖定。在利用搬運裝置對硅片進行搬運時,無需利用旋轉機構調節硅片與吸附件的相對位置以及硅片運動至第二工位的位姿,從而提高硅片的搬運效率,並降低設備的成本。
今年以來海目星新獲得專利授權230個,較去年同期增加了36.9%。結合公司2023年年報財務數據,2023年公司在研發方面投入了5.4億元,同比增30.96%。
數據來源:天眼查APP
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