沸石濃縮雙轉輪系統 臺積新技術 廢氣削減99.5％

晶圓代工龍頭臺積電在綠色製造又有重大突破，領先業界開發沸石濃縮雙轉輪技術，廢氣削減率達99.5％，沸石濃縮雙轉輪系統將爲未來新建廠區的標準設備，截至2020年已完成建置於Fab 15B廠及Fab 18A廠，預計2021年第一季完成Fab 18B廠建置。

此外，臺積電2020年領先業界將低耗能管路加熱系統導入先進製程，預計將於2025年進一步導入臺灣全數12吋晶圓廠區及Fab 18B廠的3奈米與2奈米制程，每年預計將節省8,000萬度電。

臺積電以零排放爲目標，致力發展空氣污染防制技術，截至2020年揮發性有機氣體的平均削減率連續第6年超過95％。針對揮發性有機氣體削減，臺積電各廠使用沸石濃縮轉輪結合燃燒爐處理揮發性有機氣體，其去除效率可達95～97％，遠優於法令排放削減率應大於90％規範。

爲進一步導入新技術優化防制設備效能，臺積電廠務處攜手供應商，領先國內採用沸石濃縮雙轉輪系統技術，將原經過第一道轉輪吸附並燃燒後的高濃度製程廢氣，新增第二道轉輪濃縮流程後再送回第一道轉輪反覆處理，成功使削減率達99.5％。沸石濃縮雙轉輪系統將爲未來新建廠區標準設備，截至2020年已完成建置於Fab 15B廠、Fab 18A廠，預計2021年第一季完成Fab 18B廠建置。

臺積電持續優化製程能源使用效率，2020年領先業界將低耗能管路加熱系統導入先進製程，透過高效熱絕緣體減少熱散失，成功的使機臺加熱管減少約25％能耗。目前已導入Fab 15廠第7期廠區，預計將於2025年進一步導入臺灣全數12吋晶圓廠區，以及Fab 18B廠的3奈米與2奈米制程，每年預計將節省8,000萬度電。