博士門 大秀奈米級光罩儲存櫃

精密潔淨奈米級光罩儲存櫃。圖／博士門提供

專業控溼設備廠商博士門今年將參與「SEMICON Taiwan國際半導體展」，於9月14日至16日在臺北南港展覽館一館1樓智慧能源管理專區，展示半導體各式光罩氮氣櫃、PCB臺車系列、監控系列2HTDP、手套櫃，以及今年剛獲得第19屆國家品牌玉山獎「最佳產品類」的專利奈米級光罩儲存櫃。

臺灣擁有全球最強大及最具競爭力的半導體供應鏈，在先進製程中，最需要半導體設備廠商提供先進精密設備，以解決生產速度及產品良率的雙重挑戰。

博士門「精密潔淨奈米級光罩儲存櫃」提供奈米級光罩一個潔淨及乾燥儲存空間，進而大幅提升晶圓製造的良率及技術競爭。

此設備以獨立的溼度值回饋，確保每一個奈米級光罩盒內有氮氣進出，確實執行乾式清潔及保持光罩盒內乾燥，並以溼度值設定，氮氣智慧節能系統來控制氮氣「啓動」與「關閉」，經工研院檢測確實可節省80％以上氮氣流量，降低生產成本，符合環保節能的綠能規範，而可視化氮氣及溫溼度顯示及記錄功能，可大幅提高保存的可靠度及效度，利用RFID掃描光罩盒之TAG確認內裝光罩資訊，獨立監控每一個光罩盒保存櫃位內的進出狀態。

博士門以「控溼專家」、「環保節能」等環境控制技術專業作爲產品核心價值，擁有軟體、韌體及機構專業研發團隊，30年來經過積極的品牌推廣及落實，成功爲各產業客戶解決其各種保存問題，產品性能優異，讓客戶更能落實ESG永續發展的趨勢。